六氟丁二烯
常用中文名:全氟丁二烯 | 常用英文名:hexafluorobutadiene-1,3
CAS号
685-63-2
分子式
C4F6
分子量
162.0332
EINECS号
211-681-0
风险术语
R11##Highly flammable.
安全术语
S16##Keep away from sources of ignition - No smoking.||S23##Do not inhale gas/fumes/vapour/spray.||S33##Take precautionary measures against static discharges.
商品描述
用 途: 半导体的等离子蚀刻,优良的干蚀刻气体。含氟橡胶、合成含氟弹性体和电性能优良的树脂 贮 存: 贮存在阴凉通风处,容器保持密闭。贮存在原容器中的温度不超过50℃。避免阳光直射。注意不要与氧化剂一起混贮。远离烟火。 运 输: 按照压缩气体和液化气体有毒气体标准运输 包 装: 10L或47L钢瓶压缩包装, 或依客户要求包装
基本信息
CAS号
685-63-2
EINECS号
211-681-0
分子式
C4F6
分子量
162.0332
别名
六氟-1,3-丁二烯, 六氟丁二烯
英文名称
hexafluorobutadiene-1,3
英文别名
Hexafluoro-1,3-butadiene, 1,1,2,3,4,4-hexafluorobuta-1,3-diene, Perfluorobuta-1,3-diene
物化性质
密度
1.425g/cm3
折射系数
1.296
沸点
18.6°C at 760 mmHg
蒸汽压
954mmHg at 25°C